Gas purifying apparatus and semiconductor manufacturing apparatus

기체 청정장치 및 반도체 제조장치

Abstract

기체중의 파티클을 제거하는 기체 청정장치로서, 제 1 필터층과 제 2 필터층을 갖고, 상기 제 1 필터층을 구성하는 섬유의 직경이 상기 제 2 필터층을 구성하는 섬유의 직경보다 굵은 것을 특징으로 하는 기체 청정장치. 또한, 상기의 기체 청정장치를 이용한 반도체 제조장치.

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